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E-book

Mikrosystemtechnik für Ingenieure, 3rd Edition

ISBN: 978-3-527-66346-0
590 pages
May 2012
Mikrosystemtechnik für Ingenieure, 3rd Edition (3527663460) cover image

Description

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs tragt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinaren Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Au?erdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlagt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.
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Table of Contents

ALLGEMEINE EINFUHRUNG IN DIE MIKROSTRUKTURTECHNIK
Was ist Mikrostrukturtechnik?
Von der Mikrostrukturtechnik zur Mikrosystemtechnik
DIE PARALLELEN ZUR MIKROELEKTRONIK
Fertigungskonzepte der Mikroelektronik
Aufbau- und Verbindungstechnik
Reinraumtechnik
DIE NATURWISSENSCHAFTLICHEN GRUNDLAGEN DER MIKROTECHNIK
Ein Ausflug in die Quantenmechanik
Kristalle und Kristallographie
Materialien der Mikrotechnik
Grundbegriffe der Elektrochemie und der galvanischen Abscheidung
BASISTECHNOLOGIEN DER MIKROTECHNIK
Grundlagen der Vakuumtechnik
Erzeugung von Dunnschichten
Abtragen und Strukturieren von Dunnschichten
Oberflachenanalyse
LITHOGRAPHIE
Uberblick und Historie
Resists
Strukturubertragung
Maskenfertigung
Strahlungsquellen
DIE SILIZIUM-MIKROMECHANIK
Mikromechanische Grundstrukturen
Die Oberflachen-Mikrotechnik
Anwendungsbeispiele
DAS LIGA-VERFAHREN
Uberblick
Maskenherstellung
Rontgentiefenlithographie
Galvanik
Abformung
Varianten der LIGA-Technik
Anwendungsbeispiele
ALTERNATIVE VERFAHREN DER MIKROSTRUKTURIERUNG
Mechanische Mikrofertigung
Laser-Ablation
Ionenverfahren
AUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIKEN (AVT)
Hybridtechniken
Kontaktierungstechniken
Klebetechnik
Anodisches Bonden
Gehausung
SYSTEMTECHNIK
Definition eines Mikrosystems
Entwurf, Simulation und Test von Mikrosystemen
Signalverarbeitung fur Sensoren in Mikrosystemen
Industrielle Konzepte der Mikrosystemfertigung
ANWENDUNGEN
Allgemeine Me?- und Regeltechnik
Optische Kommunikation
Medizintechnik
Ausblick
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Author Information

Prof. Wolfgang Menz, geb. 1938 in Berlin, studierte Physik in Bonn und Hamburg. Nach uber 20 Jahren Tatigkeit in der Industrie (IBM und Robert Bosch GmbH) erhielt er einen Ruf an die Universitat Karlsruhe und wurde gleichzeitig zum Leiter des Instituts fur Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe und der Universitat Karlsruhe berufen. 1995 erhielt er den Ruf als Grundungsdekan des Fakultat fur Angewandte Wissenschaften der Albert-Ludwigs-Universitat Freiburg i. Br. Prof. Menz war bis Oktober 2001 geschaftsfuhrender Direktor des Instituts fur Mikrosystemtechnik (IMTEK) und bis 2004 Orinarius fur Prozesstechnologie. Seit Fruhjahr 2004 ist er emeritiert.

Dr.-Ing. Jurgen Mohr, geb. 1957 in Karlsruhe, studierte Physik an der Universitat Karlsruhe. Direkt nach dem Studium fand er durch seine Anstellung am Institut fur Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe Zugang zur Mikrosystemtechnik. Er promovierte 1987 mit einer Arbeit auf dem Gebiet der Rontgenlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen. Im Jahre 1993 wurde er Leiter der Abteilung Rontgentiefenlithographie am Institut fur Mikrostrukturtechnik. Au?er fur die Prozessentwicklung ist er heute fur die anwendungsorientierte Forschungsarbeiten im Bereich der Mikrooptik am Forschungszentrum verantwortlich. Er ist Autor von uber 200 Veroffentlichungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik.

Oliver Paul schloss 1986 sein Physikstudium und 1990 seine Promotion zum Dr. sc. nat. an der ETH Zurich ab. Nach einem Postdoc-Aufenthalt am FhG-ISE nahm er ab 1992 am Labor fur Physikalische Elektronik der ETH Zurich die Aufgaben eines Projekt- und Gruppenleiters sowie Lehrbeauftragten wahr. Seit 1998 leitet er den Lehrstuhl fur Materialien der Mikrosystemtechnik am IMTEK der Albert-Ludwigs-Universitat Freiburg. Die Forschungsarbeit seiner Gruppe konzentriert sich auf die Mikrosystemtechnik auf der Basis von Silizium- und IC-Technologien und damit kompatiblen Prozessen, inklusive Entwurf, Herstellung, Materialeigenschaften, Charakterisierung und Theorie. Oliver Paul ist Mitautor von uber 140 technischen Veroffentlichungen, drei Patenten und vier Buchern. Er hat unter anderem die Firma Sensirion mitbegrundet und war Co-Chair der IEEE MEMS Conference 2004 in Maastricht, Niederlande.
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Reviews

"Die vollig neu bearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berucksichtigt die Trends dieses Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Vor allem die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert... Das Buch spricht uberwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in das aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute konnen sich hier einen guten Uberblick uber die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen."
Wirtschaft Region Fulda IHK

"Das Buch ist insgesamt ein gelungener Versuch, die Grundlagen der Mikrosystemtechnik in einem Lehrwerk darzustellen."
CIT
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